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    氬氣純化裝置

    產品參數/ Product parameter

    高純氬氣純化設備

    一、概述

    氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護氣體,為了提高硅晶體的質量,如何選用較高純度的氬氣,是制作硅晶體的一個議題。通過對本裝置的使用,氬氣的純度其中氧含量小于1ppm時,水分也小于1ppm時,制作出的單晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm,這樣就提高了單晶的使用壽命并能達到要求,贏得客戶的滿意和市場的需求。

    由于一般液氬汽化后未經過純化處理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時氣體供應商提供的氬氣超過了此范圍,使用氬氣的客戶不知道其質量,所以往往給生產產品質量造成影響。有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質量如何,只要經過純化裝置的處理后,進入拉晶爐的氬氣,純度始終是恒定的。

    一般氧含量小于0.5ppm,水分小于1ppm,這樣穩定的氬氣對生產晶體的質量是有確保的。

    二、關于氬氣純化的方法


            第一種直接脫氧法:就是使用活性金屬與氬氣中的氧氣進行反應,消化掉氬氣中的氧氣,從而達到脫氧的目的,經過分子篩吸收掉氬氣中的水份,使氬氣的含水量小于1ppm。

       

    第二種:是采用吸氣劑。在一定溫度下,吸氣劑可吸收氮、氫、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等氣體經吸收處理后,氬氣的純度可達到6個九,這種保護氣體更適用于制作高純度的半導體的單晶硅。


    利用吸氣劑純化后氬氣的純度:

    O2≤0.2ppm

    H2≤0.5ppm

    N2≤1ppm

    CO+CO2≤0.5ppm

    CH4≤0.5ppm

    水份≤1ppm

    第一種方法設備投資小,設備中脫氧劑的使用壽命一般大于兩年。

    第二種方法設備純化純度高但投資相對較大,吸氣劑使用壽命為一年。


    用途:

    一種稀有氣體,用作電弧焊接(切割)不銹鋼、鎂、鋁、和其它合金的保護氣體。還用于鋼鐵、鋁、鈦和鋯的冶煉中。放電時氬發出紫色輝光,又用于照明技術和填充日光燈、光電管、照明管等。

    在釀酒的過程中,啤酒桶里的填充物,它可以把氧氣置換,以避免啤酒桶里的原料被氧化成乙酸。

    熱處理工藝也用于代替氮氣和氨氣,效果更是超過氮氣和氨氣,不銹鋼熱處理時采用氬氣保護折彎效果更好不易斷裂。

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